湾芯展多款国产半导体设备新品亮相,涉及刻蚀、离子注入和薄膜沉积
今年的湾芯展上,一批国产半导体设备、材料和工具新品集中亮相。中微公司推介两款高端半导体微观加工设备,华海清科发布中束流离子注入机;微导纳米推出iMagtron系列磁控溅射系统(PVD)及Ru超薄膜工艺专用ALD设备,覆盖ALD、CVD、PVD三大主流薄膜沉积技术路线。
电报快讯与官方发布
今年的湾芯展上,一批国产半导体设备、材料和工具新品集中亮相。中微公司推介两款高端半导体微观加工设备,华海清科发布中束流离子注入机;微导纳米推出iMagtron系列磁控溅射系统(PVD)及Ru超薄膜工艺专用ALD设备,覆盖ALD、CVD、PVD三大主流薄膜沉积技术路线。
今年的湾芯展上,多款国产半导体设备、材料和工具新品集中亮相。中微公司推介两款高端半导体微观加工设备,华海清科发布中束流离子注入机,微导纳米推出iMagtron系列磁控溅射系统(PVD)及Ru超薄膜工艺专用ALD设备。
今年的湾芯展上,中微公司推介两款最新发布的高端半导体微观加工设备,华海清科发布中束流离子注入机产品,微导纳米推出iMagtron系列磁控溅射系统(PVD)及Ru超薄膜工艺专用ALD设备。微导纳米称,其产品覆盖ALD、CVD、PVD三大主流薄膜沉积技术路线。
微导纳米在今日的2026湾芯展开幕式上发布iMagtron系列磁控溅射系统。公司称,该系统采用模块化设计,可满足不同应用和技术节点Cu1-C74的工艺需求,并针对Ta/TaN优化设计,PK LifeTime优化50%以上。
微导纳米拟于展会期间发布iMagtron PVD系列两款新品,并推出基于iTomic MeT设备的Ru ALD新工艺。原文称,该工艺攻克钌薄膜超薄连续成膜难题;公司称新品亮相将补齐PVD板块,形成ALD、CVD、PVD三大薄膜沉积路线产品布局。
A股午评:创业板指半日跌近1%,零售、冰雪旅游等大消费板块表现积极 A股三大指数早盘集体下跌,截至午盘,上证指数跌0.27%,深证成指跌0.78%,创业板指跌0.95%,北证50涨0.04%,科创50指数跌0.68%。全市场成交额10164亿元,较上日缩量61亿元,全市场超3500只个股下跌。板块题材上,元件、染料、白酒、冰雪产业、煤炭开采加工、多元金融、零售板块涨幅居前;电池、风电设备、医疗服务、能源金属、MLCC、半导体板块跌幅居前。盘面上,MLCC、半导体、CPO等算力硬件股早盘再度下挫,中际旭创股价一度失守700元,华瓷股份跌停,微导纳米跌超10%。电池板块同样大幅回调,紫竹高科跌停,
A股三大指数早盘集体下跌,截至午盘,上证指数跌0.27%,深证成指跌0.78%,创业板指跌0.95%,北证50涨0.04%,科创50指数跌0.68%。全市场成交额10164亿元,较上日缩量61亿元,全市场超3500只个股下跌。板块题材上,元件、染料、白酒、冰雪产业、煤炭开采加工、多元金融、零售板块涨幅居前;电池、风电设备、医疗服务、能源金属、MLCC、半导体板块跌幅居前。盘面上,MLCC、半导体、CPO等算力硬件股早盘再度下挫,中际旭创股价一度失守700元,华瓷股份跌停,微导纳米跌超10%。电池板块同样大幅回调,紫竹高科跌停,先导智能大跌超10%。医疗服务、CRO概念股同样表现不佳,美迪西、百
微导纳米拟向不超过35名特定投资者发行A股股票,募资总额不超过人民币49.44亿元。资金拟用于无锡先进半导体设备产业化升级迭代项目、华中先进半导体设备产业化项目、尖端薄膜沉积技术研发中心项目和补充流动资金,拟投入金额分别为7.29亿元、2.89亿元、32.25亿元和7亿元。本次发行尚需股东会审议、上交所审核及中国证监会同意注册。
微导纳米拟向不超过35名特定投资者发行A股股票,募资总额不超过人民币49.44亿元。资金拟用于无锡先进半导体设备产业化升级迭代项目7.29亿元、华中先进半导体设备产业化项目2.89亿元、尖端薄膜沉积技术研发中心项目32.25亿元及补充流动资金7亿元;本次发行尚需股东会审议、上交所审核及中国证监会同意注册。
微导纳米拟向不超过35名特定投资者发行A股股票,募资总额不超过人民币49.44亿元。资金拟用于无锡先进半导体设备产业化升级迭代项目7.29亿元、华中先进半导体设备产业化项目2.89亿元、尖端薄膜沉积技术研发中心项目32.25亿元及补充流动资金7亿元。本次发行尚需股东会审议、上交所审核及中国证监会同意注册。
A股半导体股走弱,其中,长光华芯触及20CM跌停,微导纳米跌超9%,思瑞浦、帝奥微、炬光科技跌超7%,盛美上海跌超6%,圣邦股份、富瀚微、矽电股份、联动科技跌超5%。