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微导纳米拟发布两款iMagtron PVD新品并推出Ru ALD新工艺
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微导纳米将发布PVD新品 补齐三大薄膜沉积路线产品布局 记者获悉，微导纳米将于展会期间发布iMagtron PVD系列两款新品，并推出基于iTomic MeT设备的Ru ALD新工艺，攻克钌薄膜超薄连续成膜难题。本次新品亮相标志该公司补齐PVD板块，完成ALD、CVD、PVD三大薄膜沉积路线产品布局。（科创板日报）
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