湾芯展多款国产半导体设备新品亮相，涉及刻蚀、离子注入和薄膜沉积

今年的湾芯展上，一批国产半导体设备、材料和工具新品集中亮相。中微公司推介两款高端半导体微观加工设备，华海清科发布中束流离子注入机；微导纳米推出iMagtron系列磁控溅射系统（PVD）及Ru超薄膜工艺专用ALD设备，覆盖ALD、CVD、PVD三大主流薄膜沉积技术路线。