朗道燧岩首次公开展示国产EUV光源系统样机，国产化率达90%

朗道燧岩在第二十六届中国国际工业博览会上首次公开展示EUV光源系统样机，现场工作人员称其国产化率达90%，可用于芯片曝光测试。材料称该系统距离量产仍需3至5年；官网显示，低功率FlintNano LPP-OXXO已处于产品化阶段，驱动激光功率为1000W，持续工作时间超过100小时。