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IT之家·· 5 天前AI 评分71

朗道燧岩在2026年工博会首秀国产EUV光源样机,国产化率达90%、距量产仍需3至5年

朗道燧岩国产 EUV 光源系统样机 2026 工博会首秀:国产化率达 90%,距量产仍需 3~5 年

利好+0.62对 相关行业影响 中等

国产EUV样机展示推动技术自主进展

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AI 导读

朗道燧岩在2026年工博会展示国产EUV光源系统样机,现场工作人员称国产化率达90%,距量产仍需3至5年。报道提到,样机可用于芯片曝光测试,当前挑战包括提升输出功率和长期运行稳定性;官网显示,FlintNano LPP-OXXO驱动激光功率为1000W,持续工作时间超过100小时。

来源:IT之家 · ithome.com