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华海清科发布中束流离子注入机IHQ-900E
华海清科发布中束流离子注入机IHQ-900E：国产首台性能超越国外竞品 在今日举行的2026湾芯展开幕式暨半导体产业发展
利好+0.78对 相关个股影响 中等
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推荐理由
IHQ-900E的部分关键指标据称领先国外竞品，材料还列出整机国产化率及预计完成全部国产化的时间。
正文
华海清科发布中束流离子注入机IHQ-900E：国产首台性能超越国外竞品 在今日举行的2026湾芯展开幕式暨半导体产业发展峰会上，华海清科发布中束流离子注入机IHQ-900E，据介绍，该产品是国产首台性能超越国外竞品的中束流离子注入机，剂量均匀性，角度，Dose Rate,Beam Current 以及WPH 等部分关键指标方面领先于国外竞品，其搭载华海清科自研的软件平台，整机国产化率95.6%，预计2027年实现全部国产化。（科创板日报）
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