湾芯展集中亮相国产半导体设备新品,中微公司、华海清科和微导纳米推出产品
今年的湾芯展上,中微公司推介两款最新发布的高端半导体微观加工设备,华海清科发布中束流离子注入机产品,微导纳米推出iMagtron系列磁控溅射系统(PVD)及Ru超薄膜工艺专用ALD设备。微导纳米称,其产品覆盖ALD、CVD、PVD三大主流薄膜沉积技术路线。
今年的湾芯展上,中微公司推介两款最新发布的高端半导体微观加工设备,华海清科发布中束流离子注入机产品,微导纳米推出iMagtron系列磁控溅射系统(PVD)及Ru超薄膜工艺专用ALD设备。微导纳米称,其产品覆盖ALD、CVD、PVD三大主流薄膜沉积技术路线。
今年的湾芯展上,多款国产半导体设备、材料和工具新品集中亮相。中微公司推介两款高端半导体微观加工设备,华海清科发布中束流离子注入机,微导纳米推出iMagtron系列磁控溅射系统(PVD)及Ru超薄膜工艺专用ALD设备。
今年的湾芯展上,一批国产半导体设备、材料和工具新品集中亮相。中微公司推介两款高端半导体微观加工设备,华海清科发布中束流离子注入机;微导纳米推出iMagtron系列磁控溅射系统(PVD)及Ru超薄膜工艺专用ALD设备,覆盖ALD、CVD、PVD三大主流薄膜沉积技术路线。
10月14日,2026湾区半导体产业生态博览会在深圳开幕,多家参展企业表示半导体市场需求旺盛、在手订单充足。北方华创、中微公司、拓荆科技等半导体产业链上市公司,以及深圳市新凯来工业机器有限公司、上海微电子装备(集团)股份有限公司等半导体装备公司参展。
2026湾区半导体产业生态博览会(湾芯展)于10月14日—16日在深圳会展中心(福田)召开,汇聚1000余家参展企业,参展企业同比增加66%。来自22个国家和地区的70余家国际展商参展,北方华创、中微公司等企业和机构将带来新品,新品发布将超过3000件。