湾芯展多款国产半导体设备新品亮相，涉及刻蚀、离子注入和薄膜沉积
今年的湾芯展上，一批国产半导体设备、材料和工具新品集中亮相。中微公司推介两款高端半导体微观加工设备，华海清科发布中束流离子注入机；微导纳米推出iMagtron系列磁控溅射系统（PVD）及Ru超薄膜工艺专用ALD设备，覆盖ALD、CVD、PVD三大主流薄膜沉积技术路线。
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格隆汇快讯AI 评分6060 市场快讯利好AI 评分5858 湾芯展多款国产半导体设备新品集中亮相
今年的湾芯展上，多款国产半导体设备、材料和工具新品集中亮相。中微公司推介两款高端半导体微观加工设备，华海清科发布中束流离子注入机，微导纳米推出iMagtron系列磁控溅射系统（PVD）及Ru超薄膜工艺专用ALD设备。
市场快讯利好AI 评分6060 湾芯展集中亮相国产半导体设备新品，中微公司、华海清科和微导纳米推出产品
今年的湾芯展上，中微公司推介两款最新发布的高端半导体微观加工设备，华海清科发布中束流离子注入机产品，微导纳米推出iMagtron系列磁控溅射系统（PVD）及Ru超薄膜工艺专用ALD设备。微导纳米称，其产品覆盖ALD、CVD、PVD三大主流薄膜沉积技术路线。