微导纳米在2026湾芯展发布iMagtron系列磁控溅射系统
微导纳米在今日的2026湾芯展开幕式上发布iMagtron系列磁控溅射系统。公司称，该系统采用模块化设计，可满足不同应用和技术节点Cu1-C74的工艺需求，并针对Ta/TaN优化设计，PK LifeTime优化50%以上。
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市场快讯利好AI 评分5252 市场快讯利好AI 评分5757 微导纳米拟发布两款iMagtron PVD新品并推出Ru ALD新工艺
微导纳米拟于展会期间发布iMagtron PVD系列两款新品，并推出基于iTomic MeT设备的Ru ALD新工艺。原文称，该工艺攻克钌薄膜超薄连续成膜难题；公司称新品亮相将补齐PVD板块，形成ALD、CVD、PVD三大薄膜沉积路线产品布局。
格隆汇快讯AI 评分5353 微导纳米拟定增募资不超过49.44亿元投向半导体设备项目
微导纳米拟向不超过35名特定投资者发行A股股票，募资总额不超过人民币49.44亿元。资金拟用于无锡先进半导体设备产业化升级迭代项目、华中先进半导体设备产业化项目、尖端薄膜沉积技术研发中心项目和补充流动资金，拟投入金额分别为7.29亿元、2.89亿元、32.25亿元和7亿元。本次发行尚需股东会审议、上交所审核及中国证监会同意注册。
市场快讯重大AI 评分6565 微导纳米拟定增募资不超过49.44亿元，投向半导体设备项目
微导纳米拟向不超过35名特定投资者发行A股股票，募资总额不超过人民币49.44亿元。资金拟用于无锡先进半导体设备产业化升级迭代项目7.29亿元、华中先进半导体设备产业化项目2.89亿元、尖端薄膜沉积技术研发中心项目32.25亿元及补充流动资金7亿元；本次发行尚需股东会审议、上交所审核及中国证监会同意注册。
市场快讯重大AI 评分6363 微导纳米拟定增募资不超过49.44亿元投向半导体设备项目
微导纳米拟向不超过35名特定投资者发行A股股票，募资总额不超过人民币49.44亿元。资金拟用于无锡先进半导体设备产业化升级迭代项目7.29亿元、华中先进半导体设备产业化项目2.89亿元、尖端薄膜沉积技术研发中心项目32.25亿元及补充流动资金7亿元。本次发行尚需股东会审议、上交所审核及中国证监会同意注册。