华洋精机与蔡司推出半导体测量设备COSMA-M，稳定度达3σ＜3nm

华洋精机本月5日宣布携手蔡司推出半导体测量设备COSMA-M，面向光罩（掩膜）、先进封装和晶圆的高精度测量需求。设备可提供纳米级测量精度，稳定度达3σ＜3nm，结合配套模块可实现全自动化测量；应用范围覆盖DUV掩膜、先进封装、TGV和CPO，已获得部分潜在客户的送样验证测试。