尼康推出先进封装数字曝光设备DSP-110，分辨率1.5μm，计划2027年4月上市

尼康发布面向先进封装的数字曝光设备DSP-110，分辨率为1.5μm（线宽/线距），计划2027年4月上市。设备每小时可处理72块面板，处理能力较DSP-100提升40%，并支持多种尺寸的方形基板及300mm等尺寸晶圆。更换光学系统后，设备可改造为支持1.0μm（线宽/线距）分辨率。