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中电科电子装备集团下属公司自主研制的碳化硅器件晶圆全自动减薄机投用
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推荐理由
全自动减薄机由中电科电子装备集团下属公司自主研制，近期交付国内头部晶圆企业并实现量产应用，交代了设备落地环节与应用阶段。
正文
国产碳化硅器件晶圆全自动减薄机投用 【国产碳化硅器件晶圆全自动减薄机投用】记者10月15日从中电科电子装备集团获悉，该集团下属北京中电科电子装备有限公司自主研制的首台套碳化硅（SiC）器件晶圆全自动减薄机，近期成功交付国内头部晶圆企业实现量产应用。
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